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化学气相沉积法碳化硅外延设备技术进展 - Researching
2022年8月11日 本文从碳化硅外延生长机理出发,结合反应室设计和材料科学的发展, 介绍了化学气相沉积(CVD) 法碳化硅外延设备反应室、加热系统和旋转系统等的技术进展, 最后分析 2020年12月2日 碳化硅材料的特性从三个维度展开： 1.材料的性能，即物理性能：禁带宽度大、饱和电子飘移速度高、存在高速二维电子气、击穿场强高。 这些材料特性将会影响到后面器 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 - 知乎
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三了解第三代半导体材料：碳化硅（SiC） - 知乎
2019年7月25日 碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，也是目前晶体生产技术和器件制造水平最成熟，应用最广泛的宽禁带半导体材料之一，目前在已经形成了全球的材料、器件和应用 2023年5月4日 碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅是一种半导体，在自然界中以极其罕见的矿物莫桑石的形式存在。碳化硅 - 百度百科
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一文了解碳化硅（SiC）器件制造工艺 - ROHM技术社区 ...
2022年12月1日 碳化硅作为第三代半导体材料，在电力电子系统中具有重要的地位。碳化硅功率器件以其卓越的特性，如耐高压、耐高温和低损耗等，能够满足电力电子系统对高效率、小型 2021年7月5日 碳化硅衬底的主要制备工序为，将高纯的碳化硅粉在特殊温度下，采用物理气相传输法（PVT）生长不同尺寸的碳化硅晶锭，再经过切割、研磨等多道工序产出碳化硅衬底。揭秘第三代芯片材料碳化硅，国产替代黄金赛道_澎湃
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系列详解第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇_材料
2019年6月13日 目前生长碳化硅单晶最成熟的方法是物理气相输运（PVT）法，其生长机理是：在超过2000 ℃高温下将碳粉和硅粉升华分解成为Si原子、Si2C分子和SiC2分子等气相物质，在温度梯度的驱动下，这些气相物质将被 2020年12月2日 碳化硅外延材料的主要设备 ，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大；2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。3、日本的TEL和Nuflare，其设备的价格非常昂贵，其次是双腔体，对提高产量有一定的作用。其中 ...技术碳化硅产业链条核心：外延技术 - 知乎
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碳化硅外延，“初学者”该了解哪些？ - 电子工程专辑
2022年4月9日 报告主题： 碳化硅外延，“初学者”该了解哪些？报告作者： Michael MacMillan （Epiluvac USA） 报告内容包含： （具体内容详见下方全部报告内容） 为什么碳化硅在电力电子领域备受关注？SiC供应链概览 SiC外延-- 2022年4月11日 其中在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层制得碳化硅同质外延片，可进一步制成肖特基二极管、MOSFET、 IGBT 等 ... 该清洗工艺，并考虑到汞使用的安全问题，SEMILAB公司又开发出了一种电荷式非接触式CV测量设备CnCV-230。它的测试原理图见图 ...SiC外延工艺介绍及掺杂环节与监测重点_安徽长飞先进 ...
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碳化硅SiC MOSFET的制造工艺与工作原理 - 亿伟世科技
2022年4月28日 碳化硅，一种不怎么新的材料 史上最早记载的关于SiC材料的实验发生在1849年左右，当时这种材料已被广泛用于制作防弹衣或者磨料。 ... 因为SiC的制造工艺有很多地方都与Si非常相似，并且许多机器设备 都可以同时用于这两种材料的生产，这显示 ...2022年1月4日 AOI的设备构成 AOI检测的工作逻辑可以分为图像采集阶段（光学扫描和数据收集），数据处理阶段（数据分类与转换），图像分析段（特征提取与模板比对）和缺陷报告阶段这四个阶段（缺陷大小类型分类等）AOI的基本原理与设备构成 - 知乎
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碳化硅 - 百度百科
2023年5月4日 碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅是一种半导体，在自然界中以极其罕见的矿物莫桑石的形式存在。自1893年以来已经被大规模生产为粉末和晶体，用作磨料等。在C、N、B等非氧化物 ...2019年6月13日 二是碳化硅芯片主要的工艺设备基本上被国外公司所垄断，特别是高温离子注入设备、超高温退火设备和高质量氧化层生长设备等，国内大规模建立碳化硅工艺线所采用的关键设备基本需要进口。三是碳化硅器件高端检测设备被国外所垄断。 4. 碳化硅功率模块系列详解第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇_材料
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三代半专题: 激光退火技术助力第三代半导体SiC产业发展
2024年10月18日 碳化硅 (SiC)材料的宽禁带、高热导率、高饱和电子漂移速度、高击穿电场等特性决定了其在高温、大功率领域的巨大潜 ... 积极探索激光退火应用方案，凭借多年技术优势及行业经验，自主研发推出SiC晶圆激光退火设备，通过利用高均一性激光 ...2022年12月1日 碳化硅因其出色的物理性能，如高禁带宽度、高电导率和高热导率，有望成为未来制作半导体芯片的主要 ... （2）提高离子注入设备中靶盘的质量，使晶圆与靶盘更紧密贴合，提高热传导性能，确保在碳化硅晶圆上进行高温高能离子注入的 ...一文了解碳化硅（SiC）器件制造工艺 - ROHM技术社区 ...
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碳化硅技术基本原理 生长、表征、器件和应用 - 芯知社区
2021年8月8日 《碳化硅技术基本原理 生长、表征、器件和应用》是一本有关碳化硅材料、器件工艺、器件和应用方面的书籍，其主题包括碳化硅的物理 特性、晶体和外延生长、电学和光学性能的表征、扩展缺陷和点缺陷，器件工艺、功率整流器和开关器件的设计理念，单／双极型器件的物理和特征、击穿现象 ...2024年5月29日 一、引言 碳化硅膜工程设备，作为现代工业中的一项重要技术，以其独特的性能和广泛的应用领域，受到了广泛关注。碳化硅膜以其优异的耐酸碱、耐化学试剂腐蚀、耐高温以及亲水疏油性，被誉为21世纪科学的陶瓷膜产品。本文健安环保将详细介绍碳化硅膜工程设备的特性、应用领域、工作原理 ...碳化硅膜工程设备的工作原理 -
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碳化硅 (SiC)半导体结构及生长技术的详解 - 九域半导体科技 ...
2024年1月26日 非接触式半导体检测分析设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体, ... 半导体碳化硅(SiC)是一种Si元素和C元素以1:1比例形成的二元化合物，即百分之五十的硅（Si）和百分之五十的碳（C），其基本结构单元为 Si-C 四面体。2023年8月10日 SiC长晶技术简析：PVT、LPE、HTCVD SiC晶体长晶技术的发展历史 1885年，Acheson[1]通过将焦炭与硅石混合后在电熔炉中加热的方法制备了SiC。当时人们误认为这是一种钻石的混合物，并称之为金刚砂。1892年， SiC长晶技术简析：PVT、LPE、HTCVD - 知乎
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外延炉设备工作原理_百度文库
外延炉设备工作原理 一、外延炉的概述 外延炉是一种用于制备薄膜材料的高温设备，广泛应用于半导体、太阳能电池和光电子等领域。它通过沉积材料在基片表面形成单晶薄膜，具有高质量、高均匀性和高效率等特点。 二、外延炉的结构和组成部分2023年7月14日 面，公司8英寸单片式碳化硅外延设备、6英寸双片式碳化硅外延设备技术处国际领先水平。 3）半导体零部件：上游延伸零部件业务，平台化布局空间打开。公司向上游延伸坩锅、金刚 线、阀门、管接头、磁流体等半导体零部件业务，有望进入加速成长期。迈向半导体+ 碳化硅设备龙头,设备+零部件协同布局铸造高壁垒
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金属表面喷涂碳化硅：耐高温抗腐蚀新材料，制造能源领域 ...
2024年8月15日 工作原理：碳化硅涂层凭借其高硬度和化学惰性，能够在高温环境下保持稳定的物理结构，防止金属基材表面在高速摩擦下发生磨损。 此外，碳化硅的高熔点（约2700°C）确保了涂层在极端高温下不发生软化或熔融，从而提供持久的保护。2024年3月22日 该设备综合了CS8520和SICA88两款设备的优点，可以完全替代国外高端设备。 从2022年底到2023年，该设备在国内碳化硅检测设备行业新增市场占有率为70%。 该设备长期为瀚天天成、杭州海乾、广州南砂、广东天域、北京天科以及中电化合物等公司提供稳定可靠的碳化硅晶圆缺陷检测方案，得到了行业内 ...昂坤视觉（北京）科技有限公司——E3500碳化硅晶圆缺陷 ...
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碳化硅功率器件之四 - 知乎
2021年11月29日 碳化硅功率器件行业研究系列文章将分为多期陆续发布，前三期主要介绍了碳化硅功率器件的产业链，分析了上游的细分环节与主要玩家，本篇将深入了解碳化硅产业链中游：功率器件的设计、MOSFET以及器件驱动等细分领域，后续将介绍碳化硅产业链下游的制造封测等环 2024年10月17日 碳化硅单晶衬底材料（Silicon Carbide Single Crystal Substrate Materials，以下简称SiC衬底）也是晶体材料的一种，属于宽禁带半导体材料，具有耐高压、耐高温、高频、低损耗等优势，是制备大功率电力电子器件以及微波射频器件的基础性材料。碳化硅晶体的生长原理 - 艾邦半导体网
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薄膜沉积设备解析——PECVD/LPCVD/ALD设备的原理和应用
2022年8月12日 用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。 从半导体芯片制作工艺流程来说，位于前道工艺中。 薄膜制备工艺 按照其成膜方法可分为两大类： 物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积（CVD）， 其中 CVD工艺设备占比更高。2019年7月25日 由于碳化硅功率器件可显著降低电子设备的能耗，因此碳化硅器件也被誉为带动“新能源革命”的“绿色能源器件”。 1、半导体照明领域 采用碳化硅作为衬底的LED期间亮度更高、能耗更低寿命更长、单位芯片面积更小，在大功率LED方面具有非常大的优势。三了解第三代半导体材料：碳化硅（SiC） - 知乎
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碳化硅pvt长晶炉原理 - 百度文库
碳化硅pvt长晶炉原理 碳化硅PVT长晶炉原理 碳化硅(SiC)是一种具有优异综合性能的宽禁带半导体材料,被广泛应用于电力电子、航空航天、核能等领域。PVT长晶炉是生产高质量碳化硅单晶的关键设备,采用物理气相传输(Physical Vapor Transport,PVT)技术。 1.Candela ® 8720 表面缺陷检测系统 高灵敏度晶圆检测设备，集成了对氮化镓进行表面缺陷检测和光致发光计量的功能，适用于高亮度LED、微型LED、垂直腔面发射激光器、激光雷达、物联网、5G和其他高端化合物半导体应用。Candela 表面缺陷检测 氮化镓碳化硅晶圆检测 KLA
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顺应降本增效趋势，半导体碳化硅(SiC) 衬底4种切割技术详解
3 天之前 随着工业技术的发展，碳化硅衬底尺寸不断增大，碳化硅切割技术快速发展，高效高质量的激光切割将是未来碳化硅切割的重要趋势。 -END- 原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）： 顺应降本增效趋势，半导体碳化硅(SiC) 衬底4种切割技术详解碳化硅晶体生长炉-中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司-主要由炉室组件、上炉室组件、样品支撑机构、测温窗传动组件、真空获得及测量系统、气路系统、水路系统、感应加热系统、自动控制系统等组成。要求设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施，质量流量及温度控制精 碳化硅晶体生长炉_中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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充电桩行业专题报告：从高压快充看碳化硅在电力设备中的运用
2023年8月23日 基于“电池充电电量=充电功率x时间”的充电原理，我们可知充电功率越大，充电时间越短。根据P=UI （功率=电压x电流），实现大功率充电可以通过增大充电电流和提高电压两种方式： 增大充电电流：即提高单体电芯的最大充电电流，需要对电芯的材料体系和结构进行升级，降低电池 在快充过程 ...2024年6月21日 而增材制造(additive manufacturing,AM)技术无需模具，采用逐层叠加制造的原理 ... 艾邦建有 3D打印陶瓷微信群，欢迎3D打印陶瓷材料、设备 、加工、下游应用等产业链上下游企业加入。长按下方二维码，关注公众号，通过底部菜单“微信 ...碳化硅陶瓷的3D打印技术及其应用 - 艾邦半导体网
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碳化硅技术基本原理：生长、表征、器件和应用：growth ...
本书是一本有关碳化硅材料、器件工艺、器件和应用方面的书籍，其主题包括碳化硅的物理特性、晶体和外延生长、电学和光学性能的表征、扩展缺陷和点缺陷，器件工艺、功率整流器和开关器件的设计理念，单／双极型器件的物理和特征、击穿现象、高频和高温器件，以及碳化硅器件的系统 2021年10月11日 3.刻蚀设备有望率先完成国产替代 国内设备最成熟领域，国产替代率较高 存储国产化带动刻蚀机替代率继续提升 大基金助力半导体刻蚀设备企业持续发力 4.刻蚀设备领域代表企业 中微公司：国产替代先锋，先进制程快速突破 北方华创：产品线广泛的半导体设备一文看懂半导体刻蚀设备 - 知乎
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碳化硅晶圆应力检测设备介绍 - 艾邦半导体网
3 天之前 碳化硅半导体产业链很长，为了促进行业交流和发展，艾邦新建碳化硅功率半导体产业链微信群，欢迎碳化硅前道材料与加工设备，后道器件生产和模块封装的行业朋友一起加入讨论，目前加入的企业有三安，晶盛电机，基本半导体，华润微，晶越，天科合达，天
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